TF-3000全自動檢測分選機
產(chǎn)品簡介
TF-3000全自動檢測分選機是根據(jù)光伏產(chǎn)業(yè)和國際半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展及市場需求而開發(fā)研制的新型自動化設(shè)備?？赏ㄟ^高效準確的非接觸式測試儀器對硅片及類似產(chǎn)品進行檢測分析并進行自動分選。
該設(shè)備可根據(jù)用戶需要搭載多種檢測模組，如：厚度、電阻率、少子壽命等，用戶可以對硅片等產(chǎn)品的各種質(zhì)量參數(shù)進行定義。
性能、技術(shù)參數(shù)
工藝特點
控制系統(tǒng)
碎片檢測系統(tǒng)
插片機平面布置圖
主要零部件配置
技術(shù)支持和服務(wù)要求
產(chǎn)能 | 300片/時（p/h） | |
硅片尺寸 | 125mm-210mm | |
硅片規(guī)格 | 多晶硅/單晶硅 | |
測試范圍 | 厚度 | 100-1500μm |
電阻率 | 0.3-15 Ohm cm | |
誤差率 | 厚度 | <1%（+5μm/-5μm） |
電阻率 | <5% | |
| 0.1-1000μs | |
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